CEC-IBS - Navigator 1100

Navigator 1100 离子束溅射镀膜机搭载先进的 Load-Lock 传输腔系统，全面提升了设备的稳定性、洁净度与运行效率。该系统通过双腔体结构设计，实现了基片在大气环境与镀膜真空室之间的高效、洁净传输。在传输过程中，工艺室可始终保持高真空状态，有效避免因暴露于大气中而引入的水汽、氧气等杂质污染，从而显著提升所制备薄膜的致密性与整体质量。 Load-Lock 传输腔支持多个工件盘的预装载操作，大幅缩短基片更换所需时间。与传统设备相比，单批次基片更换时间由原先的2小时大幅缩减至仅需15分钟，极大提高了设备的运行效率与工艺室的使用频率，显著提升了生产效率和工艺连续性。 此外，Navigator 1100 Load-Lock 型号在设计上充分考虑了兼容性与扩展性，可适配传统型号的多种配置选项，包括不同类型的靶材配置、工件盘尺寸、工艺气体控制系统等。客户可根据自身工艺需求灵活选配，满足多样化应用场景下的镀膜要求。 作为一款集“精密性、高效性与灵活性”于一体的高端镀膜设备，Navigator 1100 为科研机构与工业客户提供了一站式薄膜制备解决方案。我们持续优化产品性能，致力于为客户提供更高品质、更高效率的技术支持与服务。 如需了解更多关于 Navigator 1100 的最新技术参数或定制化配置方案，欢迎随时与我们联系，我们将竭诚为您提供专业支持。